Характеристики подложек диаметром 50,8 мм
|
Параметры подложек
|
Стандарты Cree
|
|
Диаметр
|
50,8 мм ± 0,38 мм
|
|
Толщина в центральной точке
|
|
6H on-axis
|
254,0 мкм ± 64,0 мкм
|
|
6H off-axis; 4H полуизолирующие
|
368,0 мкм ± 64,0 мкм
|
|
Легирующая примесь
|
n-type: Nitrogen
|
|
Длина базового среза
|
15,88 мм ± 1,65 мм
|
|
Длина вторичного базового среза
|
8,0 мм ± 1,65 мм
|
|
Ориентация поверхности
|
|
6H и 4H on-axis
|
{0001} ± 0,5°
|
|
6H off-axis
|
3,5° по отношению к <1120> ± 0,5°
|
|
4H off-axis
|
8,0° по отношению к <1120> ± 0,5°
|
|
Обработка поверхности
|
хим. обработка поверхности по согласованию
|
|
Ортогональная дезориентация
|
± 5,0°
|
|
Ориентация базового среза
|
<1120> ± 5,0°
|
|
Ориентация вторичного базового среза
|
|
поверхность C
|
90,0° пр чс от первичной ± 5,0°
|
|
поверхность Si
|
90,0° по чс от первичной ± 5,0°
|
|
Упаковка
|
FLUOROWARE® каждая пластина в отдельном контейнере
|
Подробная расшифровка номера для заказа подложек приводится в технической документации.
