WXXXEXX-XXXX — Спецификация подложек диаметром 76,2 мм
Характеристики подложек диаметром 76,2 мм
| Параметры подложек | Стандарты Cree |
| Диаметр | 76,2 мм ± 0,38 мм |
| Толщина в центральной точке | |
| N-тип off-axis; полуизолирующие | 350,0 мкм ± 25,4 мкм |
| N-тип on-axis | 368,0 мкм ± 64,0 мкм |
| Легирующая примесь | n-type: Nitrogen |
| Длина базового среза | 22,22 мм ± 3,17 мм |
| Длина вторичного базового среза | 11,18 мм ± 1,52 мм |
| Ориентация поверхности | |
| On-axis | {0001} ± 0,5° |
| Off-axis |
4,0° по отношению к <1120> ± 0,5° 8,0° по отношению к <1120> ± 0,5° |
| Обработка поверхности | Двусторонняя полировка |
| Ортогональная дезориентация | ± 5,0° |
| Ориентация базового среза | <1120> ± 5,0° |
| Ориентация вторичного базового среза | |
| поверхность C | 90,0° по чс от первичной ± 5,0° |
| поверхность Si | 90,0° по чс от первичной ± 5,0° |
| Упаковка | FLUOROWARE® каждая пластина в отдельном контейнере |
Подробная расшифровка номера для заказа подложек приводится в технической документации.
Информация для заказа
| Номер для заказа | Наименование | Наличие на складе | ||
|---|---|---|---|---|
| Спецификация подложек диаметром 76,2 мм | под заказ |