Характеристики подложек диаметром 100,0 мм
|
Параметры подложек
|
Стандарты Cree
|
|
Диаметр
|
100,0 мм +0,0/-0,5 мм
|
|
Толщина в центральной точке
|
|
N-тип on-axis
|
500,0 мкм ± 50,0 мкм
|
|
N-тип off-axis
|
380,0 мкм ± 25,0 мкм
|
|
Полуизолирующие
|
400,0 мкм ± 50,0 мкм
|
|
Легирующая примесь
|
n-type: Nitrogen
|
|
Длина базового среза
|
32,5 мм ± 2,0 мм
|
|
Длина вторичного базового среза
|
18,0 мм ± 2,0 мм
|
|
Ориентация поверхности
|
|
On-axis
|
{0001} ± 0,5°
|
|
Off-axis
|
4,0° по отношению к <1120> ± 0,5°
|
|
Обработка поверхности
|
Двусторонняя полировка
|
|
Ортогональная дезориентация
|
± 5,0°
|
|
Ориентация базового среза
|
<1120> ± 5,0°
|
|
Ориентация вторичного базового среза
|
|
Поверхность C
|
90,0° пр чс от первичной ± 5,0°
|
|
Поверхность Si
|
90,0° по чс от первичной ± 5,0°
|
|
Упаковка
|
FLUOROWARE® каждая пластина в отдельном контейнере
|
Подробная расшифровка номера для заказа подложек приводится в технической документации.
